中国が狙う「6ナノ半導体」製造、装置メーカーの実力急伸 - 日経クロステック（xTECH）

中国の経済系メディアである鉅亨網（anue）や日経アジアの報道によれば、SiCarrierは28nmプロセスに対応した半導体露光装置も開発したという。ただし関連キーワードはありません