中国の新世代露光装置が量産段階へ、専門家「ASMLなどとはなお明確な差」―香港メディア

香港メディアの香港01は11日、中国の新世代露光装置が量産段階に入っており、主要部品の国産化率も90％を超えたと報じた。 11月5〜10日に上海国家会展中心で関連キーワードはありません