中国のDUV国産化が装置自立を加速し半導体勢力図に影響与える - ChosunBiz

... 中国が自国装置で生産能力を拡大できる基盤を整え始めた点にある。 中国製装置の具体的なスループットとオーバーレイ精度は公開されていない。一部中国メディア関連キーワードはありません