HuaweiとSICarrierがEUV不要で5nm製造を可能にするSAQP技術の特許を取得、米国メディア ...

中Huaweiと中国の半導体製造装置メーカーSiCarrierは、DUV露光装置による自己整合4重パターニング(SAQP)で、EUVリソ並みの微細パターン形成を可能にする特許関連キーワードはありません